粉體行業在線展覽
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上海恒商精密儀器有限公司
美國
面議
497
Instec
來自液晶先驅院校美國科羅拉多大學的精密溫控裝置與液晶檢測設備
功能特點 |
可編程精密控溫?？瑟毩⒖刂疲部蓮纳衔粰C軟件控制 |
超低的盤面溫度梯度 |
獨立的上盤面真空吸氣槽，用于吸附固定晶圓樣品 |
軟件可拓展性強，可提供LabView等語言的SDK |
#升級項# 性能可升級，詳見 配置列表 |
#選擇項#是否帶有上蓋。上蓋功能如下： 可拆卸的觀察窗 可變的樣品腔高度 用于負溫時的除霜設計 向腔室內充入氣氛 |
可做改動或定制，詳詢上海恒商 |
技術參數 | ||
溫 控 性 能 | 溫度范圍 | -190℃ ～ 600℃ 負溫需使用液氮制冷 可提升溫度上限 |
溫度分辨率 | 0.001℃ | |
溫度穩定性 | ±0.05℃(at 100℃) 可提升穩定性 | |
溫度均勻度 | ±0.1℃/cm可升級均勻性 | |
*小控溫速度 | ±0.1℃/小時 | |
**加熱速度 | +150℃/分鐘(at 100℃) | |
**制冷速度 | -100℃/分鐘(at 100℃) | |
溫度傳感器 | 100Ω鉑質RTD | |
溫控方式 | 開關式PID 可升級為LVDC式PID | |
尺寸 | 樣品腔面積 | 35 mm x 35 mm |
*注：液氮泵型號不同，制冷表現也會有差異，請悉知 | ||
配置列表 | ||
標 準 | HCC602 溫控晶圓夾盤 | √ |
mK2000溫度控制器 軟件免費，控制線有多種接口供選 | √ | |
升 級 | **溫度 從 600℃ 升級為 更高 | |
選 配 件 | 上蓋 | |
液氮制冷系統 包含液氮泵與液氮罐，使樣品降至負溫 | ||
外殼水冷配件 用常溫水或冰水循環防止外殼過熱 | ||
固定支架 把夾盤固定在使用平臺上，防止滑動 | ||
溫控聯動顯微鏡相機 溫度-圖像聯動工作，附軟件 | ||
線性可變直流電源(LVDC) 裝在溫控器里，抑制電噪音 | ||
*注：產品有多種配置變化，詳詢上海恒商 | ||
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本公司為美國Instec中國區總代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中國區**代理，不經過中間商直接與原廠接觸，能提供**惠的價格。
