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管式爐設(shè)計用于材料沉積之用，廣泛適用高、中、低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米

氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長等等；也可適用于金屬材料的擴(kuò)展焊接以及真空或保護(hù)氣氛下熱處理。

產(chǎn)品特點：

LGO加熱元件提供了高效的熱傳導(dǎo)作用，保證爐內(nèi)溫度的均 勻性和快速升降溫。

耐用節(jié)能型加熱元件，無需維護(hù)。

獨特的爐腔設(shè)計可以有效降低爐外表面溫度。

熱反射元件形成高效中空保溫層。

緊湊型爐體外表面涂有耐熱涂層。

翻轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)易于安裝工作管。

耐用型PlatinelRII熱電偶帶有10英尺長的導(dǎo)線和插頭。

工作管直徑：25.4-76.2mm（不同型號不同）。

加熱長度：609.6mm（不同型號不同）。

數(shù)字型多段單程序三區(qū)溫度控制器：三區(qū)或單區(qū)可設(shè)定單個程序；微處理控制為基礎(chǔ)、帶自

我調(diào)節(jié)功能的PID控制器保證溫度處理，防止過熱；LED顯示屏同時顯示設(shè)定和實際溫度；溫控精確度：±0.3%。

溫度范圍：100-1200℃。

可選備供氣系統(tǒng)，可以同時通入H2、N2、NH3、CH4和C2H2五種氣體，五路氣均帶有316氣體調(diào)壓器(選件)。

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