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1、機臺采用進口勞士領板材，長期可工作在酸腐蝕環境，堅固耐用，雙層防漏 。

2、滾筒內清洗，用于SIO2原料的清洗工藝。

3、可設計手動全自動運行設計，全自動運行方式采用兩只機械手運行，更有效提高效率降低成本。

4、清洗能力：10-20kg/批

5、全方面的警報提示功能，防呆設計功能。

6、模組化設計，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統一的承漏底盤中，底盤 采用滿焊接工藝加工而成，杜絕機臺的滲漏危險。

7、后部排風和下沉式設計，排風區酸堿隔離，風量可調節，對操作員有安全 保護。

8、控制部分采用進口品牌PLC 和HMI.

9、設備槽位區配備 PTFE 材質 2 只純水槍和 2 只氮氣槍，方便操作員手工清 洗槽體或工件。

10、設備設計標準按半導體行業標準（SEMI-S2）執行，ISO9001質量管理體系進行規范和保證。