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SIC切割后清洗機

1）： 擁有多種規格型號，適用于不同尺寸SIC晶圓的清洗； 

2）： 適用于4寸丶、6寸、8寸等多規格SIC襯底片的刻蝕清洗 

3）： 全自動控制，機械手傳遞片籃，采用工控機+觸摸屏控制方式，電器件均采用進口品牌 

4）： 自動供/補液，配超聲波、溢流循環。在線加熱等功能 

5）： 濕法上料，干法下料，配熱N2烘干槽 

6）： 配酸堿隔斷門、FFU保證設備運行環境