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美國Janis超高真空型探針臺UHV系統

Janis在UHV環境里為電學材料提供了一套完整的探針臺系統。既有幾款標準配置，也可以根據客戶需要專門定制。Janis有40多年的制造UHV的經驗，利用這些技術制造UHV探針臺。

典型的UHV探針臺包括：

金屬法蘭（CF）密封的不銹鋼真空腔

UHV 級電學真空接頭和電子探針

UHV 級光學觀察窗

可烘烤至120℃

室溫或低溫配置

樣品尺寸直徑25-50mm

集成2-8個x-y-z 探針臺和探針

溫度范圍從5-700K

觀察樣品和探針的單像管、照相機和監視器