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產品介紹：

• 反應艙：

  材料：鋁

  有效尺寸：700 x 700 x 1000mm

  容積：490升

  艙門：裝有可視窗口

  托盤：8個。尺寸：591 x 697 x 40mm

• 真空度測量：

  皮拉尼真空計（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導率有關）

• 真空泵：

  旋片式真空泵；480m³ 每小時的機械增壓泵。

• 頻射發生器：

  0~2500w可調，100KHZ發生器

• 控制系統：

  觸摸屏操作，PLC控制系統

  PLC可實現下列功能：

  1、自動控制反應過程；

   2、根據處理材料設定不同的處理工藝流程；

   3、測定真空泵壓力、抽真空時間、充氣速度、工作壓力、處理時間、溫度、頻射發生器輸入電壓等指標；

   4、監測所有的運行指標，保證在設定范圍之內；

   5、 設定操作、維護密碼。

• 電源：

  380V AC、三相、50Hz、40A.

• 反應氣體：

  一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）；根據用戶需要，可擴展

• 氣體輸入：

  直徑1/4''（0.645厘米） 管道；輸入壓力：1Bar.

• 尾氣排放：

  直徑38mm 輸出端口。

• 安全性能：

  急停開關；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE安全認證。

可選件：

• 頻射發生器：2.45GHZ， 13.56MHZ

• 多個氣體輸入管道。

• 根據客戶工藝要求制作的軟件程序

• 根據客戶要求制作的托盤。

• 輥輪式載料系統。

• N₂ Purge.