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PCE-6V小型等離子清洗機

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沈陽科晶自動化設備有限公司

遼寧

產品規格型號
參考報價:

面議

關注度:

858

產品介紹

PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術,采用氣體作為清洗介質,有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內徹底清洗掉有機污染物,清洗程度可達到分子級。另外,其樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。

主要特點

1采用氣體作為清洗介質,避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染

2可短時間內徹底清洗掉有機污染物

3清洗程度可達到分子級

4可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能

5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。

6樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。

7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。

技術參數

1電壓:AC220V 10A

2、消耗功率:<500W(包括真空泵)

3RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz

4、腔體:Φ190mm×98mm

5、石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm

6、內腔:Φ165mm×55mm

7、清洗電極:Φ120mm

8、樣品臺:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm

9、樣品臺與電極間距:15mm-50mm可調

10、抽氣管:Φ12mm

11、極限真空度:0.1Pa

12、工作真空度:60Pa-500Pa

13、氣路數量:2路(選裝)

14、流量控制器數量:12

15、流量顯示儀:2通道

16、氣路接口:Φ6mm

17、加熱樣品臺:Φ140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)

18、冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa

19、工作環境:溫度5-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結露,海拔高度0-2000m

產品規格

尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)

重量:20kg(不含真空泵)

可選配件

1、加熱樣品臺

2、流量控制器(量程1050100,*多可增加2個通道)

產品咨詢

PCE-6V小型等離子清洗機

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