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YAMATO雅馬拓等離子清洗機YSP600U/2KU

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柜谷科技發展(上海)有限公司

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面議

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755

產品介紹

樣品傳輸系統為模塊式,便于組合

用途

● 提高各種材料的粘接性、表面改質處理

● 清洗各類基板。

● 電子部品、材料表面改質。

● 去除有機物和自然氧化膜。

特點

● 體積小,節省空間。

● 選用小型腔體,反應效率高。

● 更容易嵌入生產線使用。

● 可通過操作面板自由切換等離子模式。

● 配備冷卻反應臺。

內槽

技術規格

型號

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE(DP模式選購)

高頻輸功率

600W

2000W

反應臺尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反應氣體

2進氣系統(氧氣、氬氣)

反應氣體流量控制

質量流量控制器

氣體導入口

反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

產品咨詢

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