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Cressington 108Auto 全自動離子濺射儀是用于掃描電鏡的

***高質量的鍍膜儀系統

●自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和**的導電噴鍍效果。

●通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

●操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數包括自動放氣以及氬氣換

氣控制。

●在自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數字顯示器控制得到可重

現的噴鍍效果。

●可配備 MTM-10 高分辨膜厚監控儀（選件）(分辨率優于 0.1nm，-99.9nm 到+999.9nm)

●數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和**的

鍍膜效果。

●可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd，，Pt，，Pt/Pd，靶材更換快速方便。

技術規格：

樣品倉尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高強度不銹鋼結構

樣品臺：可放置 12 個標準 SEM 樣品座，高度可在 60mm 內調節

濺鍍優點：基于微處理器反饋控制，遠程電流/電壓感應；提供真空安全聯鎖裝置，*

大 180A，配有過流保護

濺射控制：微處理器控制，安全互鎖，可調，**電流 40mA，程序化數字控制

濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環繞暗區護罩

模擬計量：真空 Atm - 0.01mb 電流: 0 - 200A

厚度監測器： MTM-10 高精度厚度監測器(選配)

控制方式：自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的數字定時器

（0－300s），自動放氣

電源：200-240 VAC， 50/60Hz

功率：1000VA (包括鍍碳機和真空系統)

Cressington 108C Auto 全自動鍍碳儀是用于掃描電鏡的

***的鍍碳儀系統

●獨特的受反饋控制的碳棒蒸發系統可以在膜厚大約 20nm 左右進行多次蒸發，無須切

削或調整碳棒形狀。

●108C Auto 中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質量的鍍膜效果。該鍍膜系統

結構緊湊，容易操作，抽真空周期短。選件 MTM-10 高分辨膜厚監控儀可以精確地得到

所需的碳膜厚度。

●使用新型的蒸發裝置：電流和電壓通過磁控頭的傳感線監控，蒸發源作為反饋回路中

的一部分被控制。該蒸發裝置使常規的碳棒具有優良的穩定性和重現性。功率消耗低，

碳棒具有優異的重新蒸鍍特性。蒸發源可以通過脈沖或連續的方式操作。

●自動模式下，蒸發源按程序設定的電壓和時間進行噴鍍。手動模式下，獨特的設計允

許以脈沖或連續的方式操作，并通過旋鈕控制輸出電壓。

●可配備 MTM-10 高分辨膜厚監控儀（選件）(分辨率優于 0.1nm，-99.9nm 到+999.9nm)

技術規格：

樣品倉尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高強度不銹鋼結構

濺鍍材料：Bradley 型高純度碳棒 (6.15mm， [1/4"])

濺鍍優點：基于微處理器反饋控制，遠程電流/電壓感應；提供真空安全聯鎖裝置，*

大 180A，配有過流保護

樣品臺：可放置 12 個標準 SEM 樣品座，高度可在 60mm 內調節

模擬計量：真空 Atm - 0.01mb 電流: 0 - 200A

厚度監測器： MTM-10 高精度厚度監測器(選配)

控制方式：自動蒸鍍控制，使用可編程電壓控制和計時；可選擇手動操作或自動控制

數字計時 (0 – 30 秒)，數字電壓設定 (0.1 to 6.0V)

電源：200-240 VAC， 50/60Hz

功率：1000VA (包括鍍碳機和真空系統)

SPI Supplies Vacu Prep II真空蒸發濺射儀

SPI Supplies Vacu Prep II 是一款快速、清潔、簡便的自動臺式高真空蒸發濺射儀。它利用固態電子控制泵送、蒸發和排氣序列。安全可靠，易于維護。SPI Supplies Vacu Prep II可用于常規碳鍍層或各種金屬材料的蒸發。所有系統操作通過互動觸屏幕控制，易于掌握。用戶也可以通過屏幕監視和管理系統的運行，也可選擇手動或自動工作模式，完成工作。

SPI Supplies Vacu Prep II通過快速的泵送運動，能夠快速實現10-7 Torr范圍的極限真空。該設備的另一特色是擁有大型的工作平臺，可容納多個引線、夾具等。762.5px × 1142.5px的工作室可以為蒸發和濺射工作提供充足的空間。鐘罩可以輕松上升或下降。

渦輪分子泵是該系統的核心部件。復合渦輪分子泵操作的速度為60升/秒，在短時間內可實現良好的真空水平。典型的泵送周期（10-5）可實現在10分鐘內為一個標準TEM網格的鍍碳。可通過液氮閥門調整泵送速率以達到更高的真空水平。

SPI Supplies Vacu Prep II配有安全聯鎖裝置，可保障操作者的安全，以及防止設備損壞。前面板上配有緊急關閉開關。

典型的應用：

l電子顯微鏡樣品制備；

l關于透射電鏡和X射線分析的高真空碳鍍層工作；

l金屬化合物電阻蒸發；

l制備碳支持膜；

l碳鉑

l旋轉陰影

l孔徑清洗

l石棉分析

l故障分析

技術參數：