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CF系列化學機械拋光機_壓力盤獨立驅(qū)動型(IDP型)玉力盤獨立驅(qū)動型CP系列化學機械拋光機每一個壓力盤都由單獨的一個伺服減速電機驅(qū)動，不同于中心導輪驅(qū)動型CP設(shè)備通過摩擦力助力驅(qū)動的方式，壓力盤獨立驅(qū)動型CP設(shè)備可以實現(xiàn)精確的壓力盤轉(zhuǎn)速控制，同時，由于拋光區(qū)域內(nèi)避免了摩擦接觸的結(jié)構(gòu)，減少了拋光液結(jié)晶顆粒的產(chǎn)生，從而減少了晶片的表面顆粒污染及劃傷的幾率;壓力盤獨立驅(qū)動型拋光機每個壓力盤的轉(zhuǎn)速都可以分別設(shè)定，根據(jù)每個壓力盤加壓氣缸的特性，通過對壓力盤轉(zhuǎn)速的細微調(diào)節(jié)可以實現(xiàn)不同壓力盤之間幾乎零差異的加工結(jié)果。