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ContourGT – InMotion 三維光學顯微鏡

**的器件動態分析功能

ContourGT InMotion 三維光學顯微鏡具有先進、可靠、全面的表面分析功能，能夠實時表征運行中的動態MEMS器件及其他微器件的形態。這種臺式顯微鏡系統運用白光干涉的原理，能夠以非接觸的方式測量激勵狀態下的MEMS器件表面三維形貌特征，測量范圍從0.1nm到10mm。ContourGT InMotion 將Bruker**頻閃技術與工業**的Vision® 數據采集/分析軟件**結合，能夠同時實現微器件的靜態測量和動態分析，測量頻率范圍從11Hz到2.4MHz。ContourGT InMotion融合了靈活的分析，便捷的操作與先進的**技術，是表征特征頻率和測量形態變化、表面粗糙度、臺階高度、關鍵尺寸的理想解決方案，有助于提高器件的質控水平和產量。

全面的 MEMS測量解決方案

§ 快速、準確、非接觸式的微器件靜態/動態3D表征

§ 11Hz到2.4MHz超寬測量頻率范圍，完整周期內

全面的器件動態分析頻率、振幅和相位響應表征

§ 縱向分辨率小于1nm

§ 在動態和靜態模式下準確測量0.1nm至10mm高度范圍內的特征形貌

源自數十年持續的硬件創新

ContourGT InMotion采用Wyko®數十年干涉技術創新的結晶，為您提供***的光學形貌測量功能和****的可靠性。強大的驅動電路和簡潔的桌面式平臺結構實現了**的操作穩定性。

具有**技術的頻閃照明系統能夠實時捕獲并測量樣品運動周期內的動態變化，測量頻率范圍從11Hz到2.4MHz。*終的測量結果是樣品三維運動的慢鏡頭視頻。

此外，您還可以選擇獲得R&D 100大獎的Through Transmissive Media (TTM)模塊。此模塊能夠透過樣品表面的保護層、氣氛腔及其他色散材料（厚度<3mm），準確的測量樣品的三維形貌。

專為MEMS設計的軟件

ContourGT InMotion采用Bruker廣受贊譽的Vision數據采集/分析軟件，使系統的操作和數據的分析非常簡便、直觀和靈活。基于模板自動匹配的SureVision軟件能夠幫助用戶可靠的定位特征形貌并測量面內和面外的形貌變化。

定制分析軟件能夠迅速便捷的采集并表征特征頻率、形狀/形變、位移、表面粗糙度、臺階高度、關鍵尺寸、其他形貌特征以及用戶自定義的測量參數，具有****的精度和準確性。