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THz掃描法布里-珀羅干涉儀(Terahertz scanning Farby-Perot interferometer (TSFPI) )是專門設計用來測試THz波長以及窄帶THz輻射強度的儀器。TSFPI有兩塊半透明平行的Si反射鏡組成，其中一個Si鏡裝在線性電機上，可以通過控制Si鏡之間的距離測量相應的THz數據。

TSFPI 可以用于以下光源:

- 回旋振蕩管;

- 光泵浦亞毫米波激光器;

- 返波管 BWO;

- 自由電子激光器;

- 差頻THz產生器;

- 光混頻THz產生器;

- 量子級聯激光器;

- p-Ge 激光器;

- novel THz sources.