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XENOS可在各類(lèi)要求較高測(cè)量精度的領(lǐng)域使用——從科研機(jī)構(gòu)的測(cè)量實(shí)驗(yàn)室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)。這一高端測(cè)量機(jī)的測(cè)量精度達(dá)到技術(shù)限，其測(cè)量范圍近1立方米。創(chuàng)新的機(jī)械設(shè)計(jì)XENOS采用了全新的機(jī)械設(shè)計(jì)理念。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測(cè)量機(jī)不同：Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁頂部，分離式移動(dòng)行程軸僅橫梁于Y軸方向移動(dòng)，更小及恒定的移動(dòng)重量——與移動(dòng)式平臺(tái)相比堪稱(chēng)真正的優(yōu)勢(shì)。更低及恒定的移動(dòng)重量造就了加速及較高速度的**統(tǒng)一。所有軸均采用線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)XENOS的所有軸均采用線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)。其優(yōu)點(diǎn)：高速、加速快、定位精度高、驅(qū)動(dòng)無(wú)剪切力影響。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù)，XENOS的線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的高定位精度。例如，測(cè)針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測(cè)量精度。于測(cè)量曲面時(shí)更顯見(jiàn)另一優(yōu)勢(shì)：測(cè)針的移動(dòng)路徑與預(yù)定值越吻合，即可實(shí)現(xiàn)越出色的精確性。虛擬中央驅(qū)動(dòng)XENOS于Y軸向配備雙線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，得益于蔡司較新的中央驅(qū)動(dòng)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)較佳的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置**分布驅(qū)動(dòng)力。作為較新控制系統(tǒng)及算法之**結(jié)合，這是在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)獲得較佳測(cè)量精度及運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。碳化硅陶瓷XENOS在與精度密切相關(guān)的機(jī)器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類(lèi)似產(chǎn)品或精度的測(cè)量機(jī)器上得到使用。與常規(guī)陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可較大提升30%，同時(shí)減重20%。與鋼材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。加強(qiáng)型VAST goldXENOS采用蔡司VAST gold測(cè)量探頭。在研發(fā)過(guò)程中，蔡司在測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)度方面對(duì)該探頭進(jìn)行了優(yōu)化。XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與較大長(zhǎng)度為800毫米的測(cè)針以及較大重量為500克的測(cè)針配套使用，包括非對(duì)稱(chēng)型測(cè)針。優(yōu)化的氣浮軸承全新強(qiáng)化處理氣浮軸承具有更佳的穩(wěn)定性及測(cè)量精度。改進(jìn)的電子設(shè)計(jì)通過(guò)全新的電子設(shè)計(jì)，移動(dòng)線(xiàn)纜對(duì)精度影響顯著降低。計(jì)算機(jī)輔助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技術(shù)在獲得較大測(cè)量精度的過(guò)程中扮演著日趨重要的作用。