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C11665-01微米膜厚測(cè)量?jī)x

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濱松光子學(xué)商貿(mào)（中國(guó)）有限公司

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產(chǎn)品介紹

C11665-01 微米膜厚測(cè)量?jī)x

特性

參數(shù)

*1：SiO2薄膜測(cè)量特性

*2：Si薄膜測(cè)量特性

*3：測(cè)量6 μm厚硅薄膜時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差

*4：取決于所使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡的放大率

*5：在標(biāo)準(zhǔn)量具的測(cè)量保證范圍內(nèi)

*6：連續(xù)數(shù)據(jù)采集時(shí)間不包括分析時(shí)間

產(chǎn)品咨詢

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