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KOSAKA LAB ET 150 臺階儀

設備特點： KOSAKA ET150基于Windows XP操作系統為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET150能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。

ET 150配備了各種型號，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設計，可直接觀察到工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。

規格 一、測定工件：

1. **工件尺寸：φ160mm

2. **工件厚度：50mm

3. **工件重量：2kg

二、檢出器（pick up）：

1. Z方向測定範圍：Max. 600μm

2. Z方向分解能：0.1nm

3. 測定力：min.1mgf，max.50mg

4. 觸針半徑：2 μm

5. 驅動方式：直動式

6. 再現性：1σ= 1nm

三、X 軸 (基準軸)：

1. 移動量(**測長)：100mm

2. 移動的真直度：0.2μm/100mm

3. 移動，測定速度：0.02 ~ 10mm/s

4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm

四、Z軸：

1. 移動量：50mm

2. 移動速度：max.2mm/S

3. 檢出器自動停止機能

4. 位置決定分解能：0.2μm

五、工件臺：

1. 工件臺尺寸：160mm

2. 機械手動傾斜： 1mm/150mm

六、工件觀察：max.110 倍(可選購其它高倍CCD)

七、床臺：材質為花崗巖石

八、防振臺(選購)：地型或桌上型

九、電源：AC100V±10%， 50/60HZ， 300VA

十、本體外觀尺寸及重量： W494mm;D458mm;H610mm， 120kg (含防震臺)