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儀器簡介：

NanoMap-D雙模式掃描三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的一款測量計量型設(shè)備。既可以

用于科學研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖， 輪廓線等

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量

6、微電子表面分析和MEMS表征

主要特點：

包含接觸式和非接觸式兩種掃描方式

高精度

· **的縱向分辨率：0.1 nm ( 接觸式)；2 nm（光學非接觸式）

· 對周圍環(huán)境和光源的強適應(yīng)性

· 沒有機械過濾

寬闊的垂直測量范圍

· 多種選擇光學頭及接觸式

· 縱向掃描范圍 300 to 3900 µm

· 圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)

試用于幾乎所有的表面

· 透明，不透明，反射光強等多種材料

· 垂直臺階，高寬深比，隆起，孔洞

· 脆性的材料，軟材料，柔性材料表面

· 尖銳的，堅硬的，磨損的表面

適應(yīng)性強

· 白光光源，人體安全設(shè)計，長壽命白光LED 免維護。可以用于各種環(huán)境的實驗室，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。

· 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的**結(jié)合

· 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到150mm。

· 在掃描過程中結(jié)合彩色光學照相機可對樣品直接觀察

· 針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（**至500μm）及亞納米級垂直分辨率　（*小０.１nm ）

· 軟件設(shè)置恒定微力接觸(0.1 to 100 [mg])