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行程大小mm

X

500

600

800

800

Y

600

800

1000

1200

Z

400

600

600

600

測量空間mm

Dx

634

734

934

934

Dz

144

144

144

144

Dz1

594

794

794

794

外形尺寸mm

Lx

1050

1150

1350

1350

Ly

1535

1735

1935

2135

Lz

2247

2647

2729

2729

平臺
mm

Ph

783

783

805

805

Py

1155

1355

1555

1755

支撐
Mm

Sy

824

978

1178

1378

Sy1

356

379

379

379

承重kg

300

300

500

500

機器重量kg

590

730

730

1196

MPEe（μm）

2.8+L/200

3.0+L/200

MPEp（μm）

3.5

4

光柵尺分辨率μm

0.5

空間移動速度mm/s

520

空間移動加速度mm/s

1530

流量/供氣壓力

120N1/mm 0.4Mpa

溫度

20±2℃

濕度

45%-75%