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Surfscan? SP2和SP2XP系統(tǒng)是KLA革命性的Surfscan SP1平臺(tái)的第二代產(chǎn)品，用于無(wú)圖案晶圓檢測(cè)。Surfscan SP2采用了開(kāi)創(chuàng)性的紫外線（UV）激光技術(shù)、新的暗場(chǎng)光學(xué)技術(shù)和先進(jìn)的算法，能夠發(fā)現(xiàn)小至37nm的缺陷，在相同的靈敏度下，其產(chǎn)量比上一代系統(tǒng)快2倍。SP2專為射頻、汽車、SiC、GaN、LED等新興技術(shù)和高達(dá)≥4xnm設(shè)計(jì)規(guī)則的成熟工藝節(jié)點(diǎn)而設(shè)計(jì)，在整個(gè)半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)中，為襯底、IC、設(shè)備和材料制造商提供其所需的工藝和設(shè)備的認(rèn)證與監(jiān)測(cè)。

Surfscan系列無(wú)圖案檢測(cè)儀旨在實(shí)時(shí)捕獲裸晶圓、光滑和粗糙薄膜和堆疊、光阻和光刻堆疊上的關(guān)鍵缺陷，并對(duì)其進(jìn)行分類。通過(guò)及早發(fā)現(xiàn)和識(shí)別這些關(guān)鍵缺陷及表面質(zhì)量問(wèn)題，Surfscan系統(tǒng)能夠更快地識(shí)別工藝和設(shè)備問(wèn)題，從而加速量產(chǎn)投產(chǎn)、提高良率并增進(jìn)盈利。SP2 Pro系列設(shè)備既能滿足研發(fā)探索應(yīng)用，也同樣適用于在一個(gè)完整的制造環(huán)境中為關(guān)鍵設(shè)備監(jiān)測(cè)提供檢測(cè)點(diǎn)，所有這些都可以由這一個(gè)系統(tǒng)完成。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 直入射和斜入射光學(xué)照明模式為捕獲各種不同的缺陷和表征晶圓質(zhì)量提供了一系列不同的方法

? 多種光束尺寸/產(chǎn)量/靈敏度模式可針對(duì)每個(gè)應(yīng)用進(jìn)行優(yōu)化并提供其所需的**性能

? 對(duì)硅襯底設(shè)備進(jìn)行認(rèn)證和工藝監(jiān)控，可為200mm/300mm晶圓格式提供>37nm的靈敏度

? 高靈敏度模式擴(kuò)展了研發(fā)應(yīng)用的能力

? SURFimage?數(shù)據(jù)通道能夠識(shí)別如完整晶圓圖像中的表面微粗糙度局部變化之類的空間擴(kuò)展的表面異常

? 重新啟動(dòng)產(chǎn)品制造以提高可維護(hù)性和供應(yīng)的可預(yù)測(cè)性

? 采用標(biāo)準(zhǔn)晶圓傳送系統(tǒng)并可實(shí)現(xiàn)靈活配置