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E3200 GaN缺陷檢測設備

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昂坤視覺（北京）科技有限公司

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品牌：

昂坤視覺

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E3200 GaN缺陷檢測設備

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627

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E3200是針對GaN 功率器件和HB GaN LED應用，可以檢測GaN襯底及PSS基GaN、Si基GaN 和SiC基GaN 等外延片的表面和熒光缺陷，*小檢測顆粒81nm。可以檢測并區分顆粒（particle）、凹坑（pit）、凸起（bump）、劃傷（scratch）、污點（stain）、裂紋（crack）、PL 黑點、PL scratch、PL crystal 缺陷等表面及熒光缺陷。支持4@、6@、8@晶圓檢測，具有高產能、檢測準確和檢出率高的優點。

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E3200 GaN缺陷檢測設備

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