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MCS 系列耐腐蝕氣體流量控制器

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博思飛爾（上海）儀器科技有限公司

上海

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品牌：

博思飛爾

型號：

MCS 系列耐腐蝕氣體流量控制器

關注度：

672

產品介紹

產品簡介

MCS 系列耐腐蝕氣體質量流量控制器可快速達到設定值并保持對 128 多種氣體（包括 32 種腐蝕性氣體）的質量流量、體積流量或壓力的穩定控制。

腐蝕性氣體兼容 - 與32 種純腐蝕性氣體和大多數制冷劑氣體兼容的接液材料。
用途廣泛且準確 - 對128 種以上的氣體和 20 種自定義混合物進行實時控制，具有 NIST 可追溯精度至 ±（讀數的 0.4% + 滿量程的 0.2%）。
快速控制，多變量數據 - 通電后的毫秒響應時間，以您選擇的工程單位控制質量流量、體積流量或壓力，并顯示瞬時流量、壓力和溫度讀數。
易于集成 - 定制過程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業過程中。

精度	± 0.8 %R.D and ± 0.2 %F.S
重復度	± 0.2 %F.S
控制范圍	1–100% F.S
控制響應時間	（T63）用戶可調：0.5 SCCM-5 SCCM :100-4000ms；10 SCCM-20 SLM :30-4000ms；50 SLM-5000 SLM：30-150ms
顯示響應時間	用戶可調：0.5 SCCM-5 SCCM :100-4000ms；10 SCCM-20 SLM :<10ms；50 SLM-5000 SLM：65-255ms
溫度精度	±0.75°C
工作溫度	?10–60°C
壓力精度	±0.5%R.D
預熱時間	<1 s

模擬通訊	4–20 mA, 0–5 VDC, 1–5 VDC, 0–10 VDC
數字通訊	RS-232； RS-485 ；Modbus RTU (over RS-232 or RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus
電氣接口	6 pin locking, 8 pin mini-DIN, 8 pin M12, DB-9, DB-15
電源	12 - 30 VDC ； 250 mA，1 A，2 A額外加 40 mA（ 4-20 mA ）

閥門類型	常閉
密封材質	316L、303、和430FR不銹鋼、FFKM（標準）可根據特殊氣體選用FKM或EPDM，R閥門增加410不銹鋼

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MCS 系列耐腐蝕氣體流量控制器

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