粉體行業在線展覽
BRAVERY 3000 光調制反射晶圓檢測系統
面議
微崇半導體
BRAVERY 3000 光調制反射晶圓檢測系統
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BRAVERY 3000
光調制反射晶圓檢測系統
BRAVERY 3000 是具有巨大市場價值的新型晶圓缺陷檢測設備,其采用光調制反射技術,可實現對晶圓的非接觸、無損傷、在線、快速、內部檢測,精準診斷與定位晶圓缺陷,該產品對有/無圖案晶圓均適用,可填補當前國內市場離子注入工藝非接觸檢測設備的國產化空白,實現晶圓注入質量特性檢測量產化。
產品特點
非接觸非破壞性
有/無圖案晶圓皆適用
可作為在線檢測設備
無需測前與測后處理,超快檢測速度
軟件檢測操作簡單
主要應用
各種離子注入及退火工藝的質量監控
刻蝕等工藝對晶圓損傷的質量監控
產品優勢
自研產品,可定制化
可自動生成wafer map等可視化數據
電腦組合體系VG42
UNI800C多物料配料控制儀
在線HPXRF檢測設備
PicoFemto掃描電鏡原位液體-電化學測量系統
金屬稱重檢測一體機
BSD-PB(氣液法)
片式電容四參數測試機
0~10%糖度
三路浮子流量計 MFC-3F
Oilwear 在線油液清潔度檢測儀
GJT-2F系列金屬探測儀