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BRAVERY 3000 光調制反射晶圓檢測系統

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微崇半導體(北京)有限公司

北京

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

微崇半導體

型號:

BRAVERY 3000 光調制反射晶圓檢測系統

關注度:

389

產品介紹

BRAVERY 3000

光調制反射晶圓檢測系統

BRAVERY 3000 是具有巨大市場價值的新型晶圓缺陷檢測設備,其采用光調制反射技術,可實現對晶圓的非接觸、無損傷、在線、快速、內部檢測,精準診斷與定位晶圓缺陷,該產品對有/無圖案晶圓均適用,可填補當前國內市場離子注入工藝非接觸檢測設備的國產化空白,實現晶圓注入質量特性檢測量產化。

產品特點

非接觸非破壞性

有/無圖案晶圓皆適用

可作為在線檢測設備

無需測前與測后處理,超快檢測速度

軟件檢測操作簡單

主要應用

各種離子注入及退火工藝的質量監控

刻蝕等工藝對晶圓損傷的質量監控

產品優勢

自研產品,可定制化

可自動生成wafer map等可視化數據


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BRAVERY 3000 光調制反射晶圓檢測系統

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