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MicroMaster 激光直寫光刻機
MicroMaster 是一款多功能的紫外激光寫入器，具有高精度的組件，專為用戶在感光層上設計創建**自由度的微結構。MicroMaster 是一個完整的操作系統。它擁有405納米波長光學模塊，能夠在光阻層中寫入*小0.8微米的結構。這個用戶友好的工具支持高達4095級的灰度或純二進制模式，并允許3D光學結構，表面結構以及掩模項目。 激光控制的實時自動對焦和激光強度控制，確保整個曝光過程中的高質量成像。MicroMaster 廣泛應用于半導體光刻， LED芯片， 微流控芯片， 微納結構， 灰度光刻， 三維加工， 全息影像等多個領域。
MicroMaster 無掩模激光直寫系統性能規格
