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SimulTek原子氧源-原子氧測試

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SimulTek 原子氧源

采用激光轟擊氧分子，形成中性氧原子束流，性能如下：

  1. 原子氧能量：4~7eV

  2. 原子氧束流通量大于5.0×1015 atoms/cm2/s

  3. 原子氧純度大于95%

  4. 束流均勻性優(yōu)于90%

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SimulTek原子氧源-原子氧測試

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