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基于X射線的晶圓級抗輻照電路測試系統是由深圳市易捷測試技術有限公司設計開發。采用10keV X射線作為輻射源開展效應試驗，不僅易于實施，節省資金，在器件封裝前即可對器件的抗輻射水平給出評估，是一種可行的評估器件總劑量水平的手段。

10keV X射線輻射源系統可以用于完成：

• 特定結構器件的基本輻射響應分析

• 用過實驗結果跟蹤給定工藝的加固情況

• 迅速提高批量生產的芯片的加固情況反饋。

相對60Co γ射線輻射源而言，基于X射線的晶圓級抗輻照電路測試系統體積小，占地面積小，適合于實驗室與工廠的生產線上使用，而且操作簡單，調節方便，通過面板進行參數設置與操作，可精確控制輻射劑量率，且可調輻射劑量率范圍較大。設備安全性好，儀器周邊的輻射量與普通環境無差別。