LEBO 旋涂儀 EZ6

規格參數：

1、旋涂基材6英寸或更小

2、包括三個真空旋轉卡盤

3、用于手套箱的占地面積小

4、易于使用的觸摸屏界面

5、可編程旋涂工藝

6、耐用的設計以及耐化學腐蝕的材料

7、耐化學腐蝕HDPE旋轉碗

8、耐用的不銹鋼機身，具有耐化學腐蝕的透明旋轉蓋

9、4.3”觸摸屏界面

10、基板尺寸：從1厘米到6英寸晶圓

11、轉速范圍：100-12000 RPM

12、轉速分辨率：1RPM

13、加速范圍：空載100-30000 RPM / s

14、程序：10個旋轉程序，每個程序有10個步驟

15、安全：真空聯鎖和旋轉蓋聯鎖

16、尺寸：270(W)*387(D)*258(H)