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ResMap四探針測(cè)試儀

ResMap四探針電阻率測(cè)試儀

ResMap CDE273四探針太陽(yáng)能硅片電阻率測(cè)試儀

ResMap CDE273四探針電阻率測(cè)試儀簡(jiǎn)介：

四探針太陽(yáng)能硅片電阻率測(cè)試儀

光伏測(cè)試專用美國(guó)ResMap四點(diǎn)探針

ResMap CDE273四探針電阻率測(cè)試儀的特點(diǎn)如簡(jiǎn)述如下:

* 高速穩(wěn)定及**自動(dòng)決定范圍量測(cè)與傳送，THROUGHPUT高

* 數(shù)字方式及每點(diǎn)高達(dá)4000筆數(shù)據(jù)搜集，表現(xiàn)良好重復(fù)性及再現(xiàn)性

* Windows 操作接口及軟件操作簡(jiǎn)單

* 新制程表現(xiàn)佳(銅制程低電阻率1.67mΩ-cm及Implant高電阻2KΩ/□以上，皆可達(dá)成高精確度及重復(fù)性)

* 體積小，占無塵室面積少

* 校正簡(jiǎn)單，且校正周期長(zhǎng)

* 可配合客戶需求，增強(qiáng)功能與適用性

* 300mm 機(jī)種可以裝2~4個(gè)量測(cè)頭，并且可以Recipe設(shè)定更換

CDE　ResMap–CDE　公司生產(chǎn)之電阻值測(cè)試系統(tǒng)是以四探針的工藝，以配合各半導(dǎo)體成光伏生產(chǎn)廠家進(jìn)出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控，超卓可靠又簡(jiǎn)易操作的設(shè)備是半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)廠家不可缺少的。

ResMap CDE273四探針電阻率測(cè)試儀主要特點(diǎn)：

測(cè)量范圍廣，精度高，穩(wěn)定性好，功能齊全強(qiáng)大，軟件好用，維修成本低，服務(wù)好，配件齊全...

美國(guó)進(jìn)口四探針電阻率測(cè)試儀(4PP)/方塊電阻測(cè)試儀/太陽(yáng)能光伏擴(kuò)散薄層電阻測(cè)試儀（Four point probe(4PP)）

設(shè)備名稱: 四點(diǎn)探針電阻儀 (CDE ResMap)

主機(jī)廠牌、型號(hào)與附件: CDE ResMap

規(guī)格:

1. Pin material: Tungsten Carbide.

2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.

3. 樣品尺寸: 2吋至6吋晶圓 (表面須為平整的導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體材料)

設(shè)備用途: 導(dǎo)電薄膜的電阻值分布測(cè)量，半導(dǎo)體，光伏

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特點(diǎn)：

1）針尖壓力一致

2）適用于各種基底材料

3）友好的用戶界面

4）快速測(cè)量

5）數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)

應(yīng)用：

1）方塊電阻

2）薄片電阻

3）摻雜濃度

4）金屬層厚度

5）P/N類型

6）I/V測(cè)試

ResMap CDE273四探針電阻率測(cè)試儀測(cè)試性能指標(biāo)：

探針材料 WC

探頭壽命> 500W次

Resmap168，178，273區(qū)別：