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自從1993年起SURFACE公司就從事脈沖激光沉積鍍膜系統(tǒng)（以下簡稱PLD）的研發(fā)和制造工作，在這期間SURFACE公司不但向市場提供了標(biāo)準(zhǔn)的PLD系統(tǒng)，而且也提供專門為客戶訂制的PLD系統(tǒng)。經(jīng)過了這么多年的發(fā)展，SURFACE公司開發(fā)出許多能夠滿足客戶需求的產(chǎn)品和技術(shù)。以下就是由SURFACE公司**提供的這些產(chǎn)品和技術(shù)的簡要介紹：

一． 基本資料

1.、SURFACE基底運載系統(tǒng)

對機(jī)械手來說，熱均勻和熱隔離的有效性是十分重要的。這其中，精確的熱電偶是關(guān)鍵的質(zhì)量因素。

（圖上的文字）

SURFACE常規(guī)電阻1英寸基底運載器

嵌入式Omicron原子力基底夾

熱電偶直接嵌入基底運載系統(tǒng)，30mm的基底中間區(qū)域

基底和銀醬一起安裝在激光切邊運載器上。運載系統(tǒng)可轉(zhuǎn)換并直接嵌入熱電偶（請見另一頁）這保證絕大多數(shù)的溫度測量。

2、靶切換系統(tǒng)

超高真空技術(shù)需要反應(yīng)釜通過一個負(fù)載鎖的腔體進(jìn)行相互作用。從一開始，SURFACE就意識到這一點，并設(shè)計了一個靶轉(zhuǎn)盤來實現(xiàn)這一需求。

多層蓋板避免了強(qiáng)熱的基底轉(zhuǎn)移到靶材。所有靶材是受保護(hù)，以防止交叉污染。蓋板能夠非常容易地被更換，無需工具。靶材將通過磁場操縱或位于中央轉(zhuǎn)移腔的內(nèi)部轉(zhuǎn)移操縱手被轉(zhuǎn)移。該耦合和靶材的精確檢索是自動完成的。靶轉(zhuǎn)盤和切換動力保證了均質(zhì)燒蝕過程。

3、模塊化的系統(tǒng)概念

SURFACE公司多年來一直從事于研發(fā)超高真空材料科學(xué)系統(tǒng)。在大多數(shù)情況下，一個系統(tǒng)的工作負(fù)載起始于一個單一的過程控制，往往過了一段時間以后，客戶的需求會增多。為了通過附加的過程控制提升整套設(shè)備的功能，SURFACE公司認(rèn)識到需要用完整的模塊化概念來解決這個問題。

從向市場提供單一的腔體加上負(fù)載鎖，一直到提供更多的擴(kuò)展，而不需要冒任何將來轉(zhuǎn)換而產(chǎn)生的風(fēng)險。

可以方便客戶的細(xì)節(jié)：

1、 轉(zhuǎn)換過程有照相機(jī)支持

從開始我們的束工具生產(chǎn)，我們就決心讓使用設(shè)備變得更加簡便。*早我們使用了一個獨立的監(jiān)視器，連接一臺獨立的BW照相機(jī)。為了實現(xiàn)自動化，增加了第二個TTL監(jiān)視器來觀測實時的彩色照片和相關(guān)的其他過程數(shù)據(jù)。尤其是當(dāng)我們的激光加熱系統(tǒng)應(yīng)用以后，另外一臺顯示器對顯示實際得圖表和數(shù)據(jù)非常有用。毫無疑問，所有的照片都能夠被實時地存儲在過程控制系統(tǒng)的硬盤驅(qū)動器上。

2、 整套系統(tǒng)的緊湊安裝

實驗室里的空間是昂貴的，所以任何空間都必須被非常有效地使用。SURFACE公司從一開始就設(shè)計將激光放置在控制箱的頂部，并可將其他的激光氣艙加入這一過程。

將氣艙整合到這個配置里面將使安裝變得非常容易和迅速。

這種節(jié)約成本的設(shè)計克服了PLD安裝之前昂貴的本地安裝——所有項目都被包括在SURFACE的交貨中。

氣艙通過一個大的方便的管子與客戶端的排氣設(shè)備相連接。

3、 SURFACE公司的交貨與交鑰匙工程

這方面包括從SURFACE公司將系統(tǒng)直接運來（這些設(shè)備的生產(chǎn)基地都是在西歐及周邊地區(qū)）。運輸?shù)娇蛻舻男遁d地點是關(guān)鍵。但SURFACE公司幫助，甚至客戶實驗室的建設(shè)。客戶只需要提供當(dāng)?shù)氐慕煌ê偷踯噥韺⒇浳镞\送到設(shè)備使用地。所有的運輸路線在采購決定之前都會被考察到。

4、 SURFACE公司支持S3處理軟件。

S3處理軟件提供一個全新的立體支持：一鍵式操作，客戶可以直接與SURFACE的技術(shù)支持團(tuán)隊進(jìn)行溝通。軟件使用中的問題和操作中的問題經(jīng)常會發(fā)生，通過完全的遠(yuǎn)程操控，技術(shù)支持人員可以為客戶提供設(shè)備使用各個階段的幫助。這將防止一些不必要的困難的發(fā)生，并為客戶提供快捷的響應(yīng)。這個支持工具在SURFACE系統(tǒng)中是免費的，客戶只需提供正確的網(wǎng)絡(luò)鏈接。