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全自動單/雙面刷洗機

全自動單/雙面刷洗機

直接聯系

蘇州辰軒光電科技有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

蘇州辰軒

型號:

全自動單/雙面刷洗機

關注度:

789

產品介紹

|  設備概述
       全自動單/雙面刷洗機由Loading、Unloading、晶圓機械手、刷洗、甩干單元等單體組成,通過晶圓機械手將晶片由Loading單元轉移到刷洗工位,通過毛刷對晶片表面進行藥液、二流體、純水刷洗,清除晶片表面的微小粒子。

 

|  應用領域
       應用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化鎵(GaN)等半導體材料的刷洗,同時可用于藍寶石、陶瓷、水晶等材料。

 

|  設備特點
晶圓機械手傳輸晶片過程精度高、穩定性高。
可兼容2、4、6、8寸晶片的刷洗。
自動化操作無人工干預,避免二次污染。
全封閉刷洗環境,避免環境污染。
雙刷洗工位,有效提高生產效率。
實現干進干出的加工方式。

 

|  可選配置
兆聲波發生器
濕進干出裝置
翻轉裝置,實現單面轉雙面刷洗

 

|  設備參數

型號

CX-S6F

CX-S8F

上料工位

晶片尺寸

4、6寸

6、8寸

數量

2

2

感應裝置

包含

包含

傳輸系統

傳輸方式

晶圓機械手

晶圓機械手

清洗、甩干單元

數量

2

2

藥液噴灑裝置

3

3

刷洗方式

PVA毛刷

PVA毛刷

固定方式

卡爪/真空吸附

卡爪/真空吸附

甩干方式

高速旋轉

高速旋轉

下料工位

數量

2

2

感應裝置

包含

包含

控制系統

系統

PLC

PLC

顯示

10.4寸彩色觸摸屏

10.4寸彩色觸摸屏

廠務

電源

AC220V 50Hz

AC220V 50Hz

尺寸

W1230mm * L1850mm * H2050mm

W1230mm * L1850mm *  H2050mm

重量

約700Kg

約700Kg


產品咨詢

全自動單/雙面刷洗機

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