粉體行業在線展覽
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Radiation 全光譜橢偏儀
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質朋儀器貿易（上海）有限公司
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面議
質朋儀器
Radiation 全光譜橢偏儀
630
規格 | 技術指標 |
襯底類型 | 透明或半透明襯底 |
光源 | 氙燈 |
光源壽命 | >8760H |
光譜范圍 | 300-1000nm |
入射角 | 70度（40度-90度 每5度可調） |
光斑直徑 | 100x120μm(Min80x100um) |
測量時間（不對焦） | <2S(單層模型),<約6s（多層模型） |
膜厚測量范圍（單層膜） | 1nm-15μm |
對焦 | 自動訊號對焦 |
膜厚測量精度 | <0.5nm(基于標片) |
折射率測量精度 | <0.005(基于標片) |
厚度重復性精度： | <0.5A（1 sigma 標準差,10times）（基于標準片） |
折射率重復性精度： | <0.0005（1 sigma標準差,10times）（基于標準片） |
可測試膜層數量 | ≥2層 |
標片數量 | 2片 |
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