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工藝腔:9個有機分子源，單片玻璃尺寸(100*100mm/0.5~0.7t)，優良的均勻性(≤±3%),可有效控制沉積速率，精確襯底對準銷對準，過渡艙模塊，機械警真空轉移試樣:

手套箱:單工位，內含旋轉涂膜和UV固化:

控制系統:菜單式操作、數據記錄、參數設置，全OLED蒸鍍設備OLED蒸鍍設備OLED蒸鍍設備自動電腦控制，帶互鎖。