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應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路高溫和沉積設(shè)備中， 在晶圓高溫工藝和沉積工藝過程中，Si injector是將化學(xué)氣體輸入設(shè) 備內(nèi)部的關(guān)鍵部件，是晶圓高溫和沉積環(huán)節(jié)所必需的核心部件。

技術(shù)優(yōu)勢

1、采用一體鉆孔工藝/SiFusion工藝 

2、可實現(xiàn)孔徑3 -14mm、任意長度的定制加工 

3、原材料純度高

4、表面金屬離子殘留達(dá)到硅片處理工藝所要求

5、相同熱膨脹系數(shù)