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在半導(dǎo)體工業(yè)中，高純石墨主要是作為加熱系統(tǒng)、保溫罩、電極等存在，采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特點(diǎn)。高純石墨的耐腐蝕、抗氧化、導(dǎo)電導(dǎo)熱的優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用到了半導(dǎo)體工業(yè)中，使工件使用壽命更長(zhǎng)、更加減磨省電。我司采用德國(guó)半導(dǎo)體等級(jí)石墨材料，精密制作離子注入用石墨耗材，提供標(biāo)準(zhǔn)件及客制化規(guī)格。

高純度石墨根據(jù)均勻細(xì)顆粒的特性可作為低原子序數(shù)材料，對(duì)離子、等離子具有較強(qiáng)的抗轟擊能力，很強(qiáng)的抗腐蝕性，純度高沒有金屬離子不會(huì)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)生污染，金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會(huì)造成高的損耗，故這時(shí)應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來作屏蔽罩。用于等離子cvd用部件 等離子vcd用感受器、電極室、噴嘴、內(nèi)襯、濺射用電極、movcd感受器等。