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>CVD@TaC涂層系列

CVD@TaC涂層系列

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湖南德智新材料股份有限公司

湖南

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

湖南德智

型號:

CVD@TaC涂層系列

關注度:

889

產品介紹

材料及特性

基材:等靜壓石墨(厚度>0.5 mm)

涂層:TaC(厚度<300 μm)

 

應用場景

晶圓制造

? 單晶生長

? 外延


 

實現技術

? 精密加工(石墨)

? 低壓化學氣相沉積(LPCVD)


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