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等離子體技術工藝簡單，吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；聯合催化法中，催化劑存在選擇性，某些條件(如溫度過高)會造成催化劑失活，光催化法只能利用紫外光等；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，并可同時消除混合污染物(有些情況還具有協同作用)，不會產生二次污染等。

低溫等離子體去除污染物的機理：

(1) 電場＋電子→高能電子

(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。 

等離子有機廢氣凈化設備廣泛用于：治理油煙粉塵領域，如大型火力發 電廠、卷煙廠、紡織廠、印刷廠、造紙廠、鋼鐵廠、水泥廠等。治理廢氣、異 味氣體領域，如污水、垃圾處理廠、泵站、石化廠、化工廠、制藥廠、卷煙廠 、香精廠 、屠宰場等。空氣凈化方面，如醫院、餐飲、賓館、娛樂場所、車 船，候車室等公共場所、及辦公室、家庭、轎車、實驗室等。