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硅片刻蝕清洗自動上料機

應用：

硅片刻蝕清洗上料機是將硅片承載盒中自動放置刻蝕清洗機上的設備。部件采用防腐工藝處理，保證在惡劣環境下設備長壽命、高可靠性運行。該機與市場其他上料機的**不同是：設備具有硅片擴散面與非擴散面自動識別系統，對需要翻面的硅片自動完成翻面過程。

特點：

• 產能≥3400片/小時，實際產能（非額定）根據客戶需求定制設備

• 具有硅片擴散面與非擴散面自動識別系統，對需要翻面的硅片自動完成翻面過

程

• 識別準確率：99.99%

• 具有疊片檢測功能

• 具有破片檢測及剔除功能