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一、主要用途：

主要用于藍(lán)寶石、藍(lán)玻璃、陶瓷片、晶體、半導(dǎo)體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨/拋光，尤其對(duì)于超薄工件的加工具有優(yōu)勢(shì)。

二、主要特點(diǎn)：

1、壓力控制精確：PLC+PT+電氣比例閥+低摩擦氣缸實(shí)現(xiàn)高精度壓力控制；

2、上盤(pán)調(diào)心靈活：新型上盤(pán)調(diào)心裝置，旋轉(zhuǎn)與調(diào)心動(dòng)作分離，保證了上下盤(pán)動(dòng)態(tài)條件下的吻合度。

3、主機(jī)精度高傳動(dòng)平穩(wěn)：高精度小齒隙全齒輪傳動(dòng)，傳動(dòng)平穩(wěn)；高精度平面流體軸承支撐，流體軸承定點(diǎn)日本制造，保證了軸承的長(zhǎng)壽命及高可靠性，主機(jī)運(yùn)行平穩(wěn)，精度高（下盤(pán)端面跳動(dòng)可達(dá)0.02mm以上）；

4、免維護(hù)設(shè)計(jì)整機(jī)減振性好：自動(dòng)集中潤(rùn)滑裝置，關(guān)鍵器件采用進(jìn)口知名品牌；水液程序控制，自動(dòng)分離，操作便捷；水平減震墊鐵，防震式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)安裝。