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S-16BF-2M5P精密雙面平面拋光機

S-16BF-2M5P精密雙面平面拋光機

直接聯系

蘇州博宏源設備股份有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

蘇州博宏源

型號:

S-16BF-2M5P精密雙面平面拋光機

關注度:

285

產品介紹

一、產品用途

  光學玻璃、陶瓷、電子材料及硅片、鍺片、計算機磁盤基片等金屬、非金屬等硬脆材料的雙面高精度拋光加工,尤其適用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸規格異形平行平面材料的雙面精密拋光加工。

  二、主要特點

  1.壓力精密控制:PLC+PT +低摩擦氣缸實現精密壓力控制;

  2.上盤減震裝置:動靜態均適用的減振彈性連接方式;

  3.精密傳動系統:高精度全齒輪傳動,高精度軸承支撐;

  4.下盤支撐:高精度結構軸承支撐,提高設備的精度和運行平穩性;

  5.免維護:關鍵器件采用國產品牌,冗余設計安全系數大;

  6.強制散熱系統:采用軸流風機排熱方式,并預留抽風接口,用戶可自行連接

  7.操作便捷:低臺面、半裸式接液盆便于清洗;下盤具有氣動升降功能,滿足了取放工件及調整游輪嚙合位置的要求

  三、技術參數

序號項目規格參數
1下拋盤尺寸φ1155mm×φ348mm×50mm
轉速3-60rpm
2上拋盤尺寸φ1155mm×φ348mm×50mm
3上下盤驅動電機15kW AC380V 50Hz 1460rpm(變頻控制)
4太陽輪驅動電機2.2kW AC380V 50Hz 1420rpm(變頻控制)
5游星輪參數英制:DP12 Z=200 α=20°
數量5個
6供液裝置攪拌電機120W,AC380V
供液泵1/4HP 容積約40L(雙層)
7精度指標下拋盤端面跳動≤0.05mm
上、下拋盤平面度≤0.02mm
8水源純水或自來水
9電源18.5kW AC380V 50Hz(總功率)
10線纜規格三相五線制.3×6mm2+2×4mm2
11氣源壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa,接口φ10mm(外徑)
12外形尺寸寬x長x高:1550mm×2000mm×2740mm
13重量約5500Kg


產品咨詢

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