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采用電刷鍍工藝或防腐蝕隔膜工藝生產, 防止腐蝕材料對泵體露點進行腐蝕。采用電刷鍍工藝或防腐隔膜工藝，防止泵體露點腐蝕。泵體及氣體接觸部位采用聚四氟乙烯材料，耐強腐蝕性氣體。
　　防腐真空泵結構原理：
　　防腐真空泵工作時，其吸入口與真空容器或真空系統主泵相連。耐腐蝕真空泵轉子與轉子或轉子與泵殼之間無接觸，間隙一般為0.1-0.8mm，無需油潤滑。轉子和圓弧包括漸開線。漸開線轉子泵容積利用率高，易于保證加工精度，轉子型線采用漸開線型線。