SDE系列

Apply screw type rotor with higher performance against by-product. High corrosion resistance from structural materials and temperature control.

Harsh Process Application Example

Lineup by Pumping Speed
**值泵送速度[升/分鐘]

規(guī)格。/產(chǎn)品		SDE90X	SDE120TX	SDE200	SDE303X	SDE603X	SDE1203TX	SDE20N12TX	SDE30N20	SDE60N20
*值抽速 [升/分鐘]1		1,300	1,500	3,300	5,000	10,000	20,000	30,000	50,000	100,000
極限壓強 [啪]*1		1.3			0.5
電源電壓 (50/60赫茲)		三相交流200 ~ 220伏，380 ~ 480伏
功耗[kW]*2		1.3	2.8	2.7	1.5	1.6	3.2	3.3		3.7
尺寸[毫米]*3	L	690		930	900			1000	1000	1080
	W	370		400	400			450	450	515
	H	501		500	905			1000	950	950

*1)不帶N2清洗。*2)大約。極限壓力下的值。*3)包裝尺寸。
*聯(lián)系我們了解國際標準合規(guī)性。規(guī)格。產(chǎn)品名稱如有變更，恕不另行通知。*關(guān)于適用的氣體，請聯(lián)系我們。

S-P Curve
* S-P曲線因組合而異。

Dry Pump temperature selection for each process. Select booster pump / pipe heating specification. Supplemental choice of foreline & exhaust-line against by-product. Operational status can be monitored by Centralized Monitoring System (CMS). The total exhaust system of which equipped with abatement(heater, plasma, or combustion model).

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真空泵SDE系列

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SDE系列

苛刻過程應(yīng)用示例

Max的陣容。抽速

主要產(chǎn)品

S-P曲線

[計]選項