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品牌展臺： KASHIYAMA工業株式會社

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SDL系列

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KASHIYAMA工業株式會社

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面議

品牌：

Kashiyama

型號：

SDL系列

關注度：

1690

產品介紹

SDL系列

Available to large size wafer & FPD. Large capacity available by combination. Larger than 150kL/min also available on demand. Shorter cycle-time. Large capacity around atm. pressure can achieve high speed pumping best for large L/L chamber.

用于溶劑排空的泵也已準備就緒

規格。/產品	SDL12E50/60	SDL20E60	SDL36E60
*值泵送速度[升/分鐘]1	25,000	40,000	60,000
極限壓力[Pa]*1	0.8
電源電壓(50/60Hz)	三相交流200 ~ 220伏，380 ~ 480伏
尺寸[毫米]長×寬×高	1020×520×1050	1370×850×1295
質量[千克]	645	800	920

*1)不帶N2清洗。
*聯系我們了解國際標準合規性。規格。產品名稱如有變更，恕不另行通知。

S-P Curve

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