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真空MU-X系列

真空MU-X系列

直接聯系

KASHIYAMA工業株式會社

日本

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

Kashiyama

型號：

真空MU-X系列

關注度：

1717

產品介紹

KASHIYAMA工業株式會社，多年來致力于真空技術的研究，不斷開發進取，在半導體制造領域和高科技行業中擁有極高的信譽。尤其在半導體制造領域，獲得了客戶的高度評價與信賴。

MU-X系列

Power Consumption 0.35kW. Extreamly Small Footprint. Roots dry pump achieved smallest energy consumption & footprint in the category. Applicable 02 for various tools. Best for clean pumping such as L/L and transfer chamber, etc.

主要產品

規格。/產品MU100XMU180XMU300XMU600XMU1218XMU20N18X
**值抽速
[升/分鐘]*1		1,6603,0005,00010,00020,00030,000
極限壓強
[啪]*1		1.50.5
電源電壓
(50/60赫茲)		三相交流200至220伏*2
功率消耗
[千瓦]*3		0.350.50.550.60.91.0
尺寸[毫米]長×寬×高*4450×230×275550×280×299450×230×520530×230×520870×380×7511000×450×950
質量[千克]6095100120270410

*1)不帶N2清洗。*2)如需其他電壓選項，請聯系我們。*3)大約。極限壓力下的值。*4)包裝尺寸。
*聯系我們了解國際標準合規性。規格。產品名稱如有變更，恕不另行通知。
*關于大容量泵，請聯系我們。

S-P曲線

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