粉體行業在線展覽
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全自動晶圓倒角機MET-5800
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江蘇晶工半導體設備有限公司
江蘇
面議
江蘇晶工
全自動晶圓倒角機MET-5800
562
產品規格
項目 | 參數 |
晶圓尺寸 | 12英寸（Notch） |
晶圓厚度 | 250um-1000um |
工位 | 雙工位 |
晶圓參考面形狀 | R形、雙R形、T型、臺階狀等 |
設備尺寸和重量 | L3300×W2200×H2200mm；3000kg |
磨削X/Y/Z軸精度 | X.Y.Z軸精度：±1um |
陶瓷吸盤平面精度：±3um | |
吸盤軸徑向精度：±1um | |
砂輪軸徑向精度：±1um | |
砂輪外徑溝部 | φ200mm |
砂輪外徑 | φ202mm |
砂輪安裝內徑 | φ30mm |
砂輪厚度 | 20mm |
砂輪轉速 | 4000r/min或8000r/min（根據客戶要求選擇） |
Notch砂輪轉速 | 50000-160000r/min |
校正機構 | |
測量方式 | 非接觸式或機械測厚（根據客戶要求選擇） |
分辨率 | 1μm |
對中精度 | 20μm |
