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產(chǎn)品說明

全自動晶圓刷洗機(jī)QX-2000為半導(dǎo)體晶圓刷洗的專用設(shè)備，主要用于清洗襯底表面及背面的塵粒，設(shè)備倉位可根據(jù)客戶要求配置。先用PVA刷子刷洗，配合二流體及化學(xué)液（根據(jù)客戶要求配置），經(jīng)甩干后可有效去除晶圓表面的粉塵顆粒等殘留物。

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 靈活

• ① 可加工4/6英寸和6/8英寸不同材料的晶圓

• ② 尺寸兼容性高，無需切換配件

• ③ 可根據(jù)客戶要求定制腔位

• 高產(chǎn)

• 通過旋轉(zhuǎn)機(jī)械手在同一腔位完成正反面刷洗，效率高

• 
  

• 高產(chǎn)量

• ① 通過旋轉(zhuǎn)機(jī)械手在同一腔位完成正反面刷洗，效率高

• ② 5分鐘可刷完一片（以6寸碳化硅為例），產(chǎn)量大

• 清洗效果顯著

• 通過刷片功能可將晶圓顆粒數(shù)量控制在30顆（0.3um）以下

• 應(yīng)用工序多

• 可應(yīng)用不同種類晶圓的刷洗工藝，過程刷洗和*終刷洗

產(chǎn)品規(guī)格