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設(shè)備采用立式模塊化設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，配備多個(gè)檢修門(mén)，便于腔體獨(dú)立安裝與維護(hù)，方便組裝和日后升級(jí);配備全封閉式凈化料架傳送系統(tǒng)，避免工件受到污染;工件可選擇單面或雙面鍍膜;主要用于沉積光學(xué)彩膜或金屬膜。設(shè)備的鍍膜室長(zhǎng)期保持高真空狀態(tài)，雜氣少，所鍍制的膜層純凈度高，折射率好;配置了全自動(dòng)Speedfo閉環(huán)控制系統(tǒng)，提高膜層沉積速率;工藝參數(shù)可追溯，生產(chǎn)過(guò)程實(shí)現(xiàn)全程監(jiān)控，方便追蹤生產(chǎn)不良;設(shè)備自動(dòng)化程度高，配合機(jī)械手使用可銜接上下工序，降低人工成本。

設(shè)備可鍍制Nb205、Si02、Ti02、In、Cu、Cr、Ti、SUS、Ag等氧化物及單質(zhì)金屬材料，主要用于金屬與光學(xué)材料疊加的光學(xué)彩膜工藝;適用于玻璃、PC、PET等材質(zhì)的平面類(lèi)產(chǎn)品，已廣泛應(yīng)用于PET膜片/復(fù)合板、玻璃蓋板、顯示屏等產(chǎn)品。