粉體行業在線展覽
SCG300系列半導體級單晶硅爐
面議
南京晶升
SCG300系列半導體級單晶硅爐
839
◆ 設備具有高穩定性、高真空度、高可靠性的結構設計;
◆ 配備自主研發的功率控制、鎖拉速等生長控制算法;
◆ 熱場系統具有高水平微缺陷控制能力;
◆ 配合水冷套、超導磁場及基礎工藝包;
◆ 生長晶體可滿足COP-FREE硅片指標要求。
集成電路刻蝕用硅材料長晶爐MSIR1050系列
氮化鋁原料提純爐ANET920系列
碳化硅原料合成爐 HC-SCET1000系列
藍寶石單晶爐SET300系列
藍寶石單晶爐SET280系列
SCMP/LP系列TSSG法碳化硅單晶爐
電阻加熱PVT SCR950系列碳化硅單晶爐
SCMP系列感應加熱PVT碳化硅單晶爐
SCET420系列感應加熱PVT碳化硅單晶爐
JSSD系列感應加熱PVT碳化硅單晶爐
SCG400系列半導體級單晶硅爐
SCG300系列半導體級單晶硅爐