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電阻加熱PVT SCR950系列碳化硅單晶爐

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南京晶升裝備股份有限公司

江蘇

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品牌：

南京晶升

型號(hào)：

電阻加熱PVT SCR950系列碳化硅單晶爐

關(guān)注度：

845

產(chǎn)品介紹

◆ 設(shè)備采用多段式電陽加熱，可實(shí)現(xiàn)長晶過程中溫度梯度的動(dòng)態(tài)調(diào)整；

◆ 同時(shí)，先進(jìn)的氣流路徑規(guī)劃及熱場(chǎng)防護(hù)技術(shù)，可降低長晶過程的熱場(chǎng)衰減，增加熱場(chǎng)使用壽命，提升溫場(chǎng)穩(wěn)定性；

◆ 配備長晶界面可視化系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)晶體生長狀態(tài)以提升長晶效率。

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電阻加熱PVT SCR950系列碳化硅單晶爐

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