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化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。

☆ 采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍小；
☆ 采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
☆ 采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
☆ 對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理；
☆ 采用**設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長，維修率極低。

☆ 爐門：絲桿升降/液壓升降/手動(dòng)升降；旋轉(zhuǎn)移開/平行移開（大尺寸爐門）；手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊 

☆ 爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
☆ 爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC
☆ 加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
☆ 工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)
☆ 熱電偶：K分度號(hào)/N分度號(hào)/C分度號(hào)/S分度號(hào)