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腔體合成爐

直接聯(lián)系

沈陽(yáng)中科漢達(dá)科技有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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面議

品牌：

中科漢達(dá)

型號(hào)：

腔體合成爐

關(guān)注度：

455

產(chǎn)品介紹

適用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶體生長(zhǎng)，采用中頻感應(yīng)電源加熱方式，上取放料、坩堝軸快慢速移動(dòng)。

技術(shù)參數(shù)
生長(zhǎng)工藝	PVT
生長(zhǎng)尺寸	6-8英寸
產(chǎn)品類(lèi)型	非標(biāo)定制
加熱方式	感應(yīng)加熱（中頻感應(yīng)加熱）
**溫度	2400℃
系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度	≤5Pa
控制方式	PLC集成控制
系統(tǒng)極限真空度	≤7×10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后)
系統(tǒng)真空檢漏漏率	≤5.0×10-7 Pa.l/S
冷卻方式	循環(huán)水路系統(tǒng)

適用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶體生長(zhǎng)，采用中頻感應(yīng)電源加熱方式，上取放料、坩堝軸快慢速移動(dòng)。內(nèi)壁氬弧焊接，內(nèi)表面鏡面拋光，反射熱量，減少功率損耗，減少氣體附著。自主研發(fā)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化穩(wěn)定、安全、操作便捷。適用于碳化硅原料合成也可用于碳化硅晶體生長(zhǎng)，采用中頻感應(yīng)電源加熱方式，上取放料、坩堝軸快慢速移動(dòng)。內(nèi)壁氬弧焊接，內(nèi)表面鏡面拋光，反射熱量，減少功率損耗，減少氣體附著。自主研發(fā)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化穩(wěn)定、安全、操作便捷。

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腔體合成爐

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