粉體行業在線展覽
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感應氮化鋁
直接聯系
沈陽中科漢達科技有限公司
遼寧
面議
中科漢達
感應氮化鋁
440
感應式PVT AlN生長設備是自主研發的感應式加熱爐，具有高穩定性、高真空度和精確控制系統的AlN晶體生長系統，適用于商業化批量生長大尺寸AlN晶體，可實現AlN晶體的同質和異質外延生長。
技術參數 | |
生長工藝 | PVT |
產品類型 | 非標定制 |
加熱方式 | 感應加熱（中頻感應加熱） |
**溫度 | 2400℃ |
系統停泵關機12小時后真空度 | ≤5Pa |
控制方式 | PLC集成控制 |
系統極限真空度 | ≤8×10-5 Pa (經烘烤除氣后) |
系統真空檢漏漏率 | ≤5.0×10-7 Pa.l/S |
冷卻方式 | 循環水路系統 |
控壓范圍 | 20-80kpa |
