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1

操作方式

手動(dòng)

2

管路數(shù)

1管

3

加工晶圓尺寸

4-6寸

4

適用工藝

單晶生長(zhǎng)

5

工藝溫度范圍

800-1250℃

6

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

300-800mm

7

控溫精度

±0.2℃/＞1280℃恒溫區(qū)內(nèi)

8

單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性

±0.2℃

9

溫度校準(zhǔn)功能

具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能

10

進(jìn)出料方式

手動(dòng)

11

控溫模式

Spike控溫

12

控溫點(diǎn)數(shù)

4-6點(diǎn)

13

真空機(jī)組：

直連泵

14

系統(tǒng)極限真空度：

＜10Pa 

25

抽速：

抽至極限真空時(shí)間＜10Min。

16

高壓腔設(shè)計(jì)壓力

5MPa

17

工作壓力范圍：

10 mTorr~500mTorr可調(diào)

18

控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

一體工控機(jī)+PLC

19

報(bào)警保護(hù):

具有超溫報(bào)警，超壓報(bào)警，斷偶報(bào)警，氣體互鎖，氣體緩啟動(dòng)等功能